国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) H01(3) C01(2)
C22(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/56(3)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2022(3) 
专利权人