国家/地区 |
德国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC | C23C016/26(2) H01J037/32(2) |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
国家/地区 |
德国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC | C23C016/26(2) H01J037/32(2) |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |