国家/地区 中国(5) 美国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 H01(6) C01(5)
IPC小类 H01J(6)
IPC H01J037/26(4) C01B032/194(3) H01J037/20(3)
C01B032/182(2) H01J037/32(2)
发明人 GUO C(2) LIU N(2) LU Y(2)
NI X(2) WANG H(2)
公开年 2022(6)
申请年 2022(6)
专利权人 SHUIMU BEIJI.(2) UNIV TSINGHU.(2)