国家/地区 德国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(5) D01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5)
发明人 HIGAI S(2) HIGAKI G C C(2) HIGAKI S(2)
HIGAKI S G C C(2) YANAGISAWA G C C(2) YANAGISAWA T(2)
YANAGISAWA T G C C(2)
公开年 2003(2)
申请年 2002(2) 
专利权人 GSI CREOS CO.(2)