国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4) H(3) C(2)
F(2)
IPC大类 H01(3) C01(2) F28(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) F28F(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2) H01L000/00(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2014(4)
申请年 2013(4)
专利权人