国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82B(2) C01B(2)
IPC B82B001/00(2) B82B003/00(2) C01B031/02(2)
H01L029/49(2) H01L029/786(2)
发明人 LIM J A(3)
公开年 2014(3)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(3)