国家/地区 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 B82(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) H01L021/28(2) H01L021/285(2)
H01L021/336(2) H01L029/417(2) H01L029/78(2)
发明人 KAWABATA A(2)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)