| 国家/地区 | 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
B82(2)
C01(2)
H01(2)
|
| IPC小类 |
B82Y(2)
C01B(2)
H01L(2)
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| IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
C01B031/04(2) H01L021/28(2) H01L021/285(2) H01L021/336(2) H01L029/417(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
KAWABATA A(2)
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| 公开年 |
2014(2)
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| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)
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