国家/地区 中国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L021/02(2)
发明人 WANG W(2)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)