国家/地区 日本(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 C01(2) C04(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B032/194(2) C01B032/21(2) C04B037/02(2)
H01L023/36(2) H01L023/373(2)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2021(2)
专利权人 MITSUBISHI M.(2)