| 国家/地区 | 中国(3) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
C01B(4)
B01D(2)
C23C(2) G03F(2) |
| IPC |
B32B009/00(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(4)
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| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
TAKADA N, SEKI K, KODERA Y, SEKIGAZUNORI, YUTAKA G
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
