国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
H01(4)
C01(3)
G01(2) H05(2) |
IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
H01L(3)
H01J(2) |
IPC |
C23C016/27(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(4)![]() |
申请年 | 2020(2) 2021(2) |
专利权人 |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
WADA M, MATSUMOTO T, SUGIURA M, IFUKU R, UEDA H, KURYOTA L