国家/地区 韩国（2） 美国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C23C016/26（2）
发明人 LEE C（2）
公开年 2021（2）
申请年 2021（2）
专利权人 SAMSUNG ELEC.（2）

Conductive structure, comprises conductive material layer including metal and work function control layer including two-dimensional material with defect, to control work function of conductive structure.

LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X

Apparatus for manufacturing graphene by using plasma, has gas supply for supplying reducing gas into reaction chamber at height from upper surface of substrate supporter in height direction of reaction chamber.

LEE C, LEE E, SHIN H, BYUN K, KIM S, BYUN K E, SHIN H J, LEE C S