国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C23（2） H01（2）
IPC小类 C23C（2） H01L（2）
IPC C23C016/26（2）
发明人 LI Y（2）
公开年 2022（2）
申请年
专利权人 SAMSUNG ELEC.（2）

Nanocrystalline graphene used for complementary metal-oxide-semiconductor process, comprises grains in stack of graphene sheets.

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S

Method for forming interconnect structure for semiconductor devices, involves forming carbon layer having bonding structure on first metal layer of substrate, and forming second metal layer of substrate electrically connected to first metal layer.

LEE Y, SHIN H, SHIN J, BYUN K, LEE W, AHN S, SHIN K, SHIN K W, BYUN K E, SHIN H J, LEE Y S, SHEN X, LI Y