国家/地区 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/186(2)
C23C016/01(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/34(2) H01G009/20(2) H01L031/0224(2)
发明人 MAAROUF A A(2)
公开年 2023(2)
申请年 2022(2) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(2)