国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(3)
B82Y(2) C04B(2) H01B(2)
IPC C01B021/064(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人