国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2）
IPC小类 C01B（2） C23C（2） H01L（2）
IPC C01B032/182（2）
发明人
公开年 2021（2）
申请年 2021（2）
专利权人

Conductive structure, comprises conductive material layer including metal and work function control layer including two-dimensional material with defect, to control work function of conductive structure.

LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X

Encapsulating graphene in semiconductor substrate, comprises selectively depositing graphene on metal layer, depositing metal oxide over graphene by thermal-based deposition technique, and depositing hermetic barrier over metal oxide.

VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K