国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C024/08(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
CAO J, MENG X, HUANG M, SUN L, FUGETSU B
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y