国家/地区 中国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5)
IPC小类 B01J(5)
IPC B01J023/44(2) B01J023/50(2) B01J037/02(2)
C23C014/16(2)
发明人
公开年 2021(3) 2022(2)
申请年 2021(5)
专利权人