国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(3) B82Y040/00(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2010(3)
申请年 2009(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J