国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B82(4)![]() |
IPC小类 |
B82Y(4)![]() |
IPC |
C23C028/00(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) |
申请年 | |
专利权人 |
LAN S, HU P, JIANG T, BI F, LI H
HOU Y, ZHANG H, YANG Y, ZHANG J, GUO J
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J