国家/地区 德国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5) C23C(5) C01B(4)
B82Y(3) H01L(3) H01B(2)
H05K(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2013(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(3)