国家/地区 |
德国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)
B82(2)
H01(2)
|
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
C01B031/04(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 |
2015(3)![]() |
专利权人 |
KIREEV D, SARIK D, WOLFRUM B, OFFENHAEUSSER A, OFFENHAUSSER A
IRSIGLER P, RUHL G, SCHULZE H, SHULZ H, RUHR G, ILSGLLE P