国家/地区 韩国(5)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(5) C01(3)
IPC小类 H01L(5) C01B(3)
IPC H01L051/52(5)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)