国家/地区 台湾(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3) C01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) H01L021/02(2)
H01L021/04(2) H01L021/335(2) H01L021/78(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/417(2)
H01L029/423(2) H01L029/66(2) H01L029/76(2)
H01L029/772(2) H01L029/786(2)
发明人 ZHANG T(3)
公开年 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) UNIV TSINGHU.(2)