国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C01B031/04（2）
发明人
公开年
申请年 2013（2）
专利权人

Use of amine precursor or its ammonium salt for depositing graphene film on substrate by chemical vapor deposition (CVD).

SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K

Manufacturing graphene layer by performing sputtering process to form graphite layer on substrate, and performing lithography process on graphite layer for thinning graphite layer and making graphite layer thinned to become graphene layer.

HUANG C, CHIU S, CHUNG C, WU B, HUANG J, QIU S, ZHONG C, HUANG C H, CHIU S M, CHUNG C J, WU B H