国家/地区 美国(5)
IPC部 H(5) C(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(3) CHOI H K(2) CHOI J S(2)
CHUNG K H(2) KIM J T(2) YU Y J(2)
公开年 2016(5)
申请年 2016(3) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(5)