国家/地区 日本(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(6)
发明人 YANAGISAWA T(2)
公开年 2003(2)
申请年 2002(3) 
专利权人 GSI CREOS CO.(2)