国家/地区 美国(5)
IPC部 B(3) C(3) H(2)
IPC大类 B82(3) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) H01L029/16(2) H01L031/028(2)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2012(5)
专利权人