国家/地区 美国(4)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B032/182(3) C01B032/184(2)
发明人 KIM T(2) LEE J I(2)
公开年 2018(4)
申请年 2017(2)  2018(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(4)

KIM J Y, LEE J I, CHEON S H, CHO N S, CHO S, KIM Y H, KIM T, RYU H, AH C S, HWANG C, YEON K J, IK L J, HOON C S, SUNGCHO N, MOK C S, HAE K Y, YOUB K T, SEONG A C, SUN H C