国家/地区 世界知识产权组织(14)
IPC部 C(11) B(8) H(8)
G(3)
IPC大类 C01(9) H01(8) B01(5)
B82(4) C23(4) G01(3)
B32(2)
IPC小类 C01B(9) H01B(5) B01J(4)
C23C(4) H01L(4) B82B(3)
B82Y(3) G01N(3) B32B(2)
IPC C01B031/02(9) C01B031/04(4) C23C016/26(4)
B82B003/00(3) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
H01B001/04(3) C23C016/44(2) H01L021/331(2)
发明人 JEON S(3) HONG S(2) JUNG H T(2)
LEE B(2) LEE J(2) LEE K(2)
LEE K J(2) OH I(2) OH I K(2)
OH S(2) U JEON S(2)
公开年 2013(8) 2012(3) 2011(2)
申请年 2012(6)  2011(5)  2010(2) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(14)