国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B44(3)
IPC小类 B44C(3) C01B(3) C03C(3)
C23C(3) B32B(2) B82Y(2)
C23F(2) C25F(2) H01L(2)
IPC B44C001/22(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人