| 国家/地区 | |
| 关键词 |
NANOLITHOGRAPHY(3)
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2011(3)
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
LEE C, KIM BJ, REN F, PEARTON SJ, KIM J
MATERIALS EXPRESS
KUMAR P, SUBRAHMANYAM KS, RAO CNR
