国家/地区 China(9)
关键词 PHOTOLITHOGRAPHY(9)
出版物 FERROELECTRICS(4) INTEGRATED FERROELE.(2)
出版时间 2022(9)
机构
作者 ZHANG GY(6) ZHANG Y(6) ZHOU YY(6) JIANG WT(5)
ZHANG LD(4) ZHAO WQ(4)

VACUUM

WANG XD, LIN HW, BI HL, CAO Q, MENG DH, SUN LC, REN GH, QI JD, ZHANG J

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS

WANG X, GUO SL, TONG YH, ZHAO XL, TANG QX, LIU YC