国家/地区 中国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C03(6)
IPC小类 C03C(5) B32B(4) C01B(3)
C23C(3) B05D(2) B44C(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) B05D005/12(2) B32B009/00(2)
B44C001/22(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/04(2) C03C017/22(2) C03C025/68(2)
C23C016/26(2)
发明人
公开年 2009(4)
申请年 2009(6)
专利权人