国家/地区 韩国(14) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(12) B01(7) H01(4)
B82(3) C23(3) C09(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(12) B01J(7) B82Y(3)
C23C(3) H01B(3) H01L(3)
B82B(2) G01N(2)
IPC C01B031/02(12) B01J019/10(3) C23C016/26(3)
H01B001/04(3) B01J019/08(2) B01J019/12(2)
B82B003/00(2) B82Y040/00(2) H01L031/042(2)
发明人 CHOI I S(2) FEI L(2) HONG S(2)
JEON S W(2) JUNG J H(2) KIM S O(2)
LEE K J(2) OH I K(2) SEO T S(2)
U JEON S(2) VADAHANAMBI S(2)
公开年 2013(10) 2012(2)
申请年 2011(14)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(14)