国家/地区 中国(13)
IPC部 B(6) H(4) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(4) B01(3) G01(2)
IPC小类 H01L(4) B01J(3) G01N(2)
IPC H01L029/78(3) B01J037/16(2) G01N030/06(2)
H01L029/16(2)
发明人 LIU X(13)
公开年 2012(13)
申请年 2012(13)
专利权人 BEIJING ZHON.(2) UNIV CHINA A.(2) UNIV WUHAN T.(2)