国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
H01(3)
B32(2)
B82(2) C01(2) G02(2) |
IPC小类 |
C23C(4)
B32B(2)
B82Y(2)
C01B(2) G02F(2) H01G(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 |
OEZYILMAZ B(2)
OZYILMAZ B(2)
WANG Y(2)
|
公开年 | 2013(2) 2014(2) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 | SHENZHEN CHI.(2) UNIV SINGAPO.(2) WANG Y(2) |
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B