国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC C01B031/04(4) C30B029/02(4) C01B031/02(2)
C30B029/64(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2014(3) 2013(2)
申请年 2013(5)
专利权人