国家/地区 美国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人 DAVIS M A(3)
公开年 2014(3)
申请年 2014(3)
专利权人 DAVIS M A(3)