| 国家/地区 |
美国(3)
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| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC |
C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(3) |
| 公开年 | 2014(3) |
| 申请年 |
2014(3)
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| 专利权人 |
DAVIS M A(3)
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