国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
C01(4)
B82(3)
H01(3) B01(2) C30(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B01J(2)
B82Y(2) C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/02(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2014(3) 2015(2) |
申请年 |
2014(5)![]() |
专利权人 |
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
VLASSIOUK I V, IVANOV I N, DATSKOS P G
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y