国家/地区 | 美国(6) 中国(3) 韩国(3) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)
C23C(6)
H01L(6)
B01J(3) B82Y(3) C25D(2) |
IPC |
H01L021/02(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(3) 2017(3) |
申请年 |
2016(6)![]() |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M
LUTZ T, PURKL F, ROELVER R, ROHLFING F
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M