国家/地区 韩国(4) 美国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 H01J(6)
IPC C01B031/04(5) B01J019/00(2) H01J037/32(2)
发明人
公开年 2017(3) 2018(2)
申请年 2016(6)
专利权人