国家/地区 美国(6) 中国(3) 韩国(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C23C(6) H01L(6)
B01J(3) B82Y(3) C25D(2)
IPC H01L021/02(6)
发明人
公开年 2016(3) 2017(3)
申请年 2016(6)
专利权人