国家/地区 中国(6)
IPC部 C(4) H(3) G(2)
IPC大类 H01(3) C23(2) G01(2)
IPC小类 C23C(2) G01D(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2) G01D005/26(2) H01L031/0216(2)
H01L031/028(2) H01L031/09(2) H01L031/18(2)
发明人 GAO A(6)
公开年 2017(4) 2018(2)
申请年 2017(6)
专利权人 BEIJING C N.(4) SHANGHAI INS.(4)