| 国家/地区 | 中国(6) |
| IPC部 |
C(4)
H(3)
G(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
C23(2)
G01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(2)
G01D(2)
H01L(2)
|
| IPC |
C23C016/26(2)
G01D005/26(2)
H01L031/0216(2)
H01L031/028(2) H01L031/09(2) H01L031/18(2) |
| 发明人 |
GAO A(6)
|
| 公开年 | 2017(4) 2018(2) |
| 申请年 |
2017(6)
|
| 专利权人 | BEIJING C N.(4) SHANGHAI INS.(4) |
LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
LI T, TONG J, WANG Y, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
CAO W, SHA Y, XU L, GAO A, LI C, TONG Y
LI T, TONG J, WANG Y, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
SHU D, MENG T, YI F, CHENG H, HUANG Y, GAO A, ZHANG F
