国家/地区 韩国(4)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C23(2)
IPC小类 H01L(4) C23C(2)
IPC C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L051/00(2)
发明人 CHO K W(4) LEE E(2) LEE H C(2)
YOO M S(2)
公开年 2020(3)
申请年 2019(4)
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(4)