国家/地区 | |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B01(3)![]() |
IPC小类 |
B01J(3)![]() |
IPC |
C23C014/14(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 |
2021(3)![]() |
专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT