国家/地区 | 中国(4) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C09(4)![]() |
IPC小类 |
C09D(4)![]() |
IPC | G03F007/004(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(4)![]() |
申请年 |
2021(4)![]() |
专利权人 |
YANG H, LIU J, LIU Z, CAO F
FENG G, LIN Y, XIAO L, YE H