国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) H01(6) C30(2)
IPC小类 C23C(6) H01L(3) H01M(3)
C30B(2)
IPC C23C014/06(6)
发明人 LI X(2) WANG D(2)
公开年 2022(6)
申请年 2022(6)
专利权人