国家/地区 中国(6)
IPC部 C(3) G(3) H(2)
IPC大类 G01(3) C01(2) H01(2)
IPC小类 G01N(3) C01B(2) H01J(2)
IPC C01B032/194(2) H01J037/20(2) H01J037/26(2)
发明人 WANG H(6)
公开年 2022(6)
申请年 2022(6)
专利权人 UNIV TSINGHUA(6)