| 国家/地区 | 中国(5) 美国(4) |
| IPC部 |
C(3)
G(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
C23(3)
H01(3)
G06(2)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
G06F(2)
|
| IPC |
C23C014/24(3)
G06F003/041(2)
H01L027/12(2)
H01L029/43(2) |
| 发明人 |
BAI F(5)
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| 公开年 | 2015(5) |
| 申请年 | 2015(3) 2014(2) |
| 专利权人 |
BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(5)
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