国家/地区 中国(5) 美国(4)
IPC部 C(3) G(3) H(3)
IPC大类 C23(3) H01(3) G06(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) G06F(2)
IPC C23C014/24(3) G06F003/041(2) H01L027/12(2)
H01L029/43(2)
发明人 BAI F(5)
公开年 2015(5)
申请年 2015(3)  2014(2) 
专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(5)